爱德华CXB 系列无油干泵
CXB 系列无油干泵
行业应用：半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积、化工真空蒸馏、溶剂回收、大型镀膜设备的工艺真空源
详情请咨询：13901543292李小姐
QQ咨询：290962889
详细介绍
性能优势
√采用无油涡旋和螺杆结构，排气无油污染，适配高洁净工艺
√抽速覆盖 100~1000 m³/h，可从大气压直接启动无需前级泵
√耐化学腐蚀，能稳定抽除酸雾、有机蒸汽等腐蚀性气体
√低噪音小于70dB、维护间隔超 1 万小时，适合连续工业运行
CXB 系列无油干泵
行业应用：半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积、化工真空蒸馏、溶剂回收、大型镀膜设备的工艺真空源
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性能优势
√采用无油涡旋和螺杆结构，排气无油污染，适配高洁净工艺
√抽速覆盖 100~1000 m³/h，可从大气压直接启动无需前级泵
√耐化学腐蚀，能稳定抽除酸雾、有机蒸汽等腐蚀性气体
√低噪音小于70dB、维护间隔超 1 万小时，适合连续工业运行
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