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首页 > 产品系列 > 真空泵 > 普发PFEIFFER 正文 普发PFEIFFER
普发PENTA无油涡旋干泵

PENTA 系列无油涡旋干泵

行业应用:半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积工艺、化工真空蒸馏、溶剂回收、高洁净实验室分析仪器如质谱仪的真空源

详情请咨询:13901543292李小姐

QQ咨询:290962889



详细介绍

性能优势

√全干运行,无油污染,排气洁净度高,适配半导体与生物医药等高洁净场景

√涡旋结构设计,抽速覆盖 100~500 m³/h,可从大气压直接启动

√耐化学腐蚀,可抽除酸雾、有机蒸汽等腐蚀性气体

√低噪音小于65 dB 、低振动,维护间隔超 1 万小时

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