普发涡轮分子泵ATH500-3204M
磁悬浮涡轮分子泵
行业应用：薄膜沉积、离子刻蚀、晶圆处理、质谱仪、扫描电镜、表面分析设备、航空航天部件镀膜、医疗设备灭菌、核聚变装置、真空冶金、材料表征
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详细介绍
性能优势
√磁悬浮轴承技术
五轴磁轴承无摩擦运行，免维护、寿命超 10 万小时，转子位移实时自动修正，运行稳定性极强
√清洁无油污染
泵腔内部无油润滑，排气洁净，适配半导体、实验室等高洁净度工艺
√超高真空与压缩比
极限真空低，可快速建立超高真空环境
√低噪低振和灵活安装
运行振动极小、噪音低，支持任意角度安装，适配对环境敏感的设备
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