普发SPLIT FLOW 分子泵
SPLIT FLOW系列分子泵
应用：半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积的工艺真空、化工行业溶剂回收、真空蒸馏、镀膜设备的中高真空抽气
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详细介绍
性能优势
√高抽速与宽压力范围
采用分流转子技术，氮气抽速覆盖 100~500 m³/h，可从大气压直接启动
√耐化学腐蚀
泵腔采用特殊涂层，可抽除腐蚀性与可凝性气体
√无油洁净
全干运行，无油污染，适配半导体和化工的洁净工艺
√低噪低振
运行噪音小于65 dB，振动极小，适合精密设备旁安装
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