普发SPLIT FLOW 分子泵
SPLIT FLOW系列分子泵
应用：半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积的工艺真空、化工行业溶剂回收、真空蒸馏、镀膜设备的中高真空抽气
详情请咨询：13901543292李小姐
QQ咨询：290962889
详细介绍
性能优势
√高抽速与宽压力范围
采用分流转子技术，氮气抽速覆盖 100~500 m³/h，可从大气压直接启动
√耐化学腐蚀
泵腔采用特殊涂层，可抽除腐蚀性与可凝性气体
√无油洁净
全干运行，无油污染，适配半导体和化工的洁净工艺
√低噪低振
运行噪音小于65 dB，振动极小，适合精密设备旁安装
普发AD650H 型干式真空泵
普发双级旋片真空泵Duo1.5-35
普发OktaLine G 罗茨泵
普发涡轮分子泵ATH500-3204M
普发 ACP15-90 多级干式罗茨泵
普发HiLobe罗茨真空泵
普发SMART line 干式旋片真空泵
普发涡旋真空泵
普发HENA Line 旋片式真空泵