汉钟干式真空泵P-PMF100-1220
PMF系列干式真空泵浦
行业应用：适用于晶片传输、PVD及量测等制程，已获得诸多全球半导体大厂认可，节能高达50%
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详细介绍
产品特点与优势
√独特的转子结构设计，有助于在正常大气压下提升抽气效率
√变频器 (VFD) 控制
√ 抽速范围 (100–1800 m3/hr)
√占地面积小
√高投资回报 (ROI)
√节能高效
√提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 认证
汉钟P-PMF/PDM干式真空泵
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