汉钟P-PMF/PDM干式真空泵
PDM/PMH 系列干式真空泵
设计优势：专为中度至严苛制程环境设计，PDM/PMH 系列兼具耐用性与节能效能，相较前一世代机型，能源表现全面提升
详情请咨询：13901543292李小姐
QQ咨询：290962889
详细介绍
产品特点与优势
√弹性化设计-可依制程需求选择不同的转子涂层
√抽速范围 100–1800 m3/hr
√可靠性验证-专为先进制程而生，有效减少粉末沉积，已成功通过多家客户应用验证
√节能效益-低功耗以降低运行成本
√小巧轻量设计-超低噪音、低振动，满足多样化制程需求
√可灵活更换通讯模组，搭配不同设备
√高投资回报(ROI)
√提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 认证
汉钟干式真空泵P-PMF100-1220
汉钟P-iPH干式螺旋真空泵
汉钟干式螺旋真空泵PD120-3012
汉钟干式螺旋真空泵P-PS80-1802