爱发科干式真空泵NRL60-180A
干式真空泵
用途：活性气体（CVD、刻蚀等）、排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等），用于产生粉尘工艺中的排气，作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）、冷冻干燥等水蒸气排气
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详细介绍
特长
√NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气
√低噪音、低振动
√优良的耐腐蚀性
√标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度
√选购件：可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器
爱发科GLD油旋片泵N051-202
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